高溫真空爐是指熱處理工藝的全部和部分在真空狀態下進行的。我國將真空（kōng）劃分為低、中、高和超高真空。目前（qián）大多數真空熱處理爐的工作真空度在1.33~1.33×10ˉ³Pa。 高溫真空（kōng）爐幾乎可實現全部熱（rè）處（chù）理工藝，如淬火、退（tuì）火、回火、滲碳、氮化，在（zài）淬火工藝中可實現氣淬、油淬（cuì）、硝鹽淬火、水淬（cuì）等，還可（kě）以進行真空釺（qiān）焊、燒結、表麵處理等（děng）。真空熱處理爐熱效率（lǜ）高，可實現快（kuài）速升溫和降（jiàng）溫，可實（shí）現無氧化、無脫（tuō）碳、無滲碳，可去掉工件（jiàn）表麵的磷屑，並有脫脂除氣等作用，從而達到表麵光亮淨（jìng）化的效果。一般來說，被處理的工件在爐內加熱緩慢，內熱溫差較小，熱應力小，因（yīn）而（ér）變形（xíng）小。產品合格率高。可降低成本，有除氣作用，從而提高了工作的機械性能和使用壽命。工（gōng）作環境好，操作安全，沒有汙染（rǎn）和公害。被處（chù）理的工件沒有氫脆危險，對鈦材和難熔（róng）金屬殼防止表（biǎo）麵氫脆，真空熱處（chù）理工藝的穩定性和重複性好。這一係列的優點，開發真空熱處（chù）理設備和工藝被越來越重視（shì）和（hé）應用越來越廣