隨著現代微電子技術的創新,電子設備向著微型化、集成化、高效率和高可靠(kào)性等方向發展,電子係統的集(jí)成度越來越(yuè)高,功率密度越(yuè)來越大,對(duì)封裝材料的要求也越來越高。高(gāo)溫電爐升降式箱式電動加熱爐(lú)功率微(wēi)電子封裝除承擔熱耗散外,還必須具有與芯(xīn)片的材(cái)質(Si、GaAs)相匹配的線脹係數以及(jí)強度高、結構質量輕、工藝性好、成本(běn)低(dī)等特點。
高溫電爐(lú)升(shēng)降式箱式電動加熱爐陶瓷基板由陶瓷基(jī)片和布線金屬層兩部(bù)分組成,金屬布線(xiàn)是通過在陶瓷基片上(shàng)濺射、蒸發沉積或(huò)印刷各種金屬材料來製備薄(báo)膜和厚膜電路。常用的陶瓷基片材料有(yǒu)氧(yǎng)化鋁(lǚ)、氮化鋁、氮化矽、氧化鈹等等,製備陶瓷基板的方法有很(hěn)多種,根據封裝結構和應用要求,陶瓷基板可分為平麵陶瓷基板和多層(céng)陶瓷基板兩大類,按照工藝(yì)分為DPC、DBC、AMB、TPC、TFC、LTCC、HTCC等。
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