高溫電爐真空係統

高溫電爐中直空係統適用幹真空度在3X10~~1333Pa範圍的真（zhēn）空熱處

理爐。中真空係統在真（zhēn）空熱處理（lǐ）爐中應用最廣泛，其通常由兩（liǎng）級真空

泵機組（zǔ）組成。初級泵（bèng）多采用（yòng）旋（xuán）轉機械泵或滑（huá）閥式機械（xiè）泵，主泵為機械

增壓泵(羅茨泵)或油增壓泵

高溫電爐高真空係統

高真空係統適用於真空度在6.6x10~~1333X10。Pa範圍的

高溫電爐真空（kōng）熱處理爐，如真空退火（huǒ）爐、真空釺焊爐（lú），通常由三級真空泵機（jī）組

組成，主泵（bèng）通常采用油擴散泵、離子（zǐ）泵，初級泵大都也是采用旋轉（zhuǎn）機

械（xiè）泵或滑閥式（shì）機械泵。