高溫電(diàn)爐生產(chǎn)多(duō)晶矽的核心設備,其采用鍾罩式反應器高溫電爐,將混合後的SiHCl3和H2從反應器底部的眾多噴口噴(pēn)入,SiHCl3和H2反應,非均向(xiàng)成核生成多晶矽沉積在矽芯(xīn)表麵,逐漸長大成矽(guī)棒,生長過程(chéng)中矽棒表麵溫度(dù)1050~1100C。在非(fēi)均向成核進行的同時,SiHCl3和H2也發生均向成核(hé)反應生成無定型矽粉,反(fǎn)應的程度主(zhǔ)要取決於(yú)溫度、配比等方麵的因素。為避免(miǎn)均向成核產(chǎn)生大量的矽粉,流體采用混(hún)流,即噴嘴引入冷物流持續噴向高溫的矽棒表麵,避免局部溫度過高引發爆米花和大量(liàng)矽(guī)粉的產生(shēng),這種模式也(yě)決定了還原爐噴口直噴、氣流底進(jìn)底(dǐ)出的現有模式(shì)。也正因為此,高溫進料(進料溫度高會引起(qǐ)大(dà)量矽粉)及平推(tuī)式(shì)反應模型(xíng)(比(bǐ)如噴口(kǒu)完全側噴、氣流底進頂出)都是會失敗(bài)的。
高溫電爐流體力學模擬是個複雜的計算過程(chéng),小編為了簡化說明問題,把複雜(zá)的計算和(hé)抽象的模擬舍棄,僅以幾個氣體射流(liú)基本公式來推理噴口流(liú)速的合理(lǐ)取值。
氣體射流是流體力學基本的模型,當(dāng)氣體從(cóng)孔口或管嘴以一定的流速噴出後,由於射流為紊流流(liú)態,紊流(liú)的橫(héng)向脈動造成射流與周圍氣(qì)體發生動量交換,從而把相鄰的靜止流體卷吸到射流中來,兩者一起向前運動,於是射流的過流斷麵沿程不斷擴大,流量不斷(duàn)增加。
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